半導体・精密機械向け耐薬品ホース
フッ素樹脂の優れた低溶出性、耐薬品性と柔軟性、透明性を実現したホース
半導体・精密機械製造の工程では、洗浄液などの薬品搬送に樹脂ホースを使用します。
八興の柔軟フッ素ホースシリーズなら、耐薬品性と柔軟性があるため、薬品配管の省スペース化が可能です。
生成AI等のデータセンター向け、検査装置、切削装置等、半導体関連用途に最適なホースをご案内いたします。
導入事例
採用製品：スーパー柔軟フッ素スプリング【E-SJSP】×エイトロックS【E-ELS】
流体：アセトン、有機溶剤
採用ポイント：耐薬品性、低溶出性、ホース内面の平滑性、透明性
化学素材メーカーの基板洗浄装置にスーパー柔軟フッ素スプリング【E-SJSP】とエイトロックS【E-ELS】をセットで採用いただきました。
半導体素材などを製造するA社は、製品の製造工程でLED基板の洗浄にアセトンを使用していました。
・ユーザー課題
「耐アセトン性、柔軟性、低溶出性、耐屈曲性のある安全なホースが欲しい」
従来は、フッ素のフレキホースや市販の単層フッ素チューブを使用していましたが、洗浄装置自体がロボット的な動きをするため、繰返し曲げ応力によりホースが劣化してしまい２週間ぐらいでホースと金具の交換を余儀なくされていました。
・八興からの提案
スーパー柔軟フッ素スプリング【E-SJSP】とエイトロックS【E-ELS】を提案いたしました。
【E-SJSP】は、内層がETFEで外層がウレタンのため、接液部のETFEは耐薬品性バツグン、外層のウレタンは機械的強度が強く、繰返し曲げにも劣化しにくい素材です。
さらに八興ホース専用継手のエイトロックS【E-ELS】とのアッセンブリにより、流体漏れやホース抜けの問題もなく、安心して使うことができると評価いただきました。
コストに関しても両端カシメのフッ素フレキホースよりも安価になり、ホースの耐久性も良くなりユーザーご担当者様から『こんなホースを探していました！』と大変喜んで頂きました。
採用製品：スーパー柔軟フッ素チューブ【E-SJ】
流体：スラリー、薬液
採用ポイント：柔軟性
・半導体関連のチューブ使用工程
①研磨工程
シリコンウェハの表面を磨く工程。研磨時にスラリー上の薬品を塗布する際、フッ素チューブ（テフロンチューブ）を使用します。
②レジスト塗布（エッチング工程）
ウェハへの回路パターンを作成時、特殊な感光材を薄く塗る。
レジスト塗布前処理の酸化膜を除去する際、フッ素チューブ（テフロンチューブ）を使用します。※エッチング
③洗浄工程
ウェハ表面への付着物（ごみ、金属イオン等）の除去に、高純度の酸やアルカリ系の薬品、純水を使用します。これらの搬送用にフッ素チューブ（テフロンチューブ）を使用します。
・ユーザー課題
テフロンチューブは硬くて配管設置に時間がかかります。従来のテフロンチューブは、硬くて折れやすいため、何本もチューブを束ねて装置の中を配管する時に、装置の中にある程度のスペースを必要としていました。
・八興からの提案
スーパー柔軟フッ素チューブ【E-SJ】は内層：ETFE系フッ素樹脂、外層：ポリウレタンのため、優れた耐薬品性と柔軟性があり、配管の省スペース化が可能です。
接続も、積層チューブ専用継手で簡単に取り付けができ、装置の組立時間が大幅に短縮できたとお喜びいただきました。
採用製品：柔軟フッ素ホース
【E-PDB】
流体：ガラスペースト
採用ポイント：低溶出性、ホース内面の平滑性、柔軟性、透明性
プラズマTVのプラズマディスプレイパネル製造工場のパネル製造工程で、柔軟フッ素ホース【E-PDB】を採用いただいた事例です。
・ユーザー課題
ガラスペーストの搬送用に、従来は市販フッ素ホースを使用していましたが、ホースが硬く施工性が悪い点と、継手の着脱に手間がかかる点がネックでした。
・八興からの提案
柔軟フッ素ホース【E-PDB】は、ホース内面がPVDF系フッ素樹脂のため、ホース内面の平滑性、低溶出性、耐薬品性が優れており、高純度の流体の搬送に適していると評価いただきました。
さらに、ホースの機能として透明性と柔軟性が優れる点もポイントとなり柔軟フッ素ホースを原材料を供給する配管に使用いただけることとなりました。
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対象製品
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技術資料
■対象製品
スーパー柔軟フッ素ホース（補強糸入りタイプ） E-SJB
スーパー柔軟フッ素ホース（ウルトラソフト） E-SJBUS
スーパー柔軟フッ素スプリング E-SJSP
スーパー柔軟フッ素スプリング（ウルトラソフト）E-SJSPUS
導電スーパー柔軟フッ素スプリング E-SJSD
スーパー柔軟フッ素チューブ（透明） E-SJ
スーパー柔軟フッ素チューブ（ウルトラソフト） E-SJUS
スーパー柔軟フッ素チューブ（帯電防止） E-SJAST
導電スーパー柔軟フッ素チューブ E-SJD
スーパー柔軟フッ素チューブ（エコフレンドリー）E-SJECO
■技術資料
柔軟性比較試験
試験方法
・チューブ端部に錘50g を加え1分後のたわみ量を測定する
・試料は直管になるように事前にアニール加工を行う
※試験温度：20℃
※③PTFE チューブ、④PFAチューブは弊社製品ではありません
試験結果
| 試料名 | たるみ量測定結果 (mm) |
| ①E-PD-4 × 6 | 28 |
| ②E-SJ-4 × 6 | 31 |
| ③市販 PTFE チューブ(4×6) | 7 |
| ④市販 PFA チューブ (4×6) | 6 |
許容曲げ半径測定試験
試験方法
常温下（23℃±2℃）でd'の値がd×95%時のRの値を測定
※許容曲げ半径試験の定義
「チューブが折れずに、かつ流体が安全に流せる曲げ半径で、これ以上、小さな曲げ半径で使用しないでください」という意味合い
試験結果
| 試料名 | 許容曲げ半径 |
| E-SJ-4 × 6 | 25 |
| E-PD-4 × 6 | 25 |
| E-SJUS-4 × 6 | 50 |
| 他社製フッ素チューブ | 23 |
耐薬品データ
| 樹脂/ 薬品名 | ETFE系 | TPO | PVC |
| アセトアルデヒド | ○ | △ | × |
| アセトン | ○ | ○ | × |
| イソプロピルアルコール | ○ | ○ | △ |
| エチルアルコール （エタノール） | ○ | ○ | × |
| エチレングリコール | ○ | ○ | × |
| 塩化アルミニウム | ○ | ○ | △ |
| 塩酸（10％、20℃） | ○ | ○ | △ |
| 過酸化水素 （5％、20℃） | ○ | ○ | △ |
| カセイソーダ （10％、20℃） | ○ | ○ | △ |
| 酢酸（10％、20℃） | ○ | ○ | △ |
| 酢酸エチル | ○ | △ | × |
| 次亜塩素酸ナトリウム （5％、20℃） | ○ | ○ | △ |
| シクロヘキサノン | ○ | △ | × |
| 硝酸（10％、20℃） | ○ | ○ | △ |
| トルエン | ○ | △ | × |
| ブチルアルコール（ブタノール） | ○ | ○ | × |
| ヘキサン | ○ | △ | × |
| ベンゼン（ベンゾール） | ○ | △ | × |
| メチルエチルケトン （MEK） | ○ | △ | × |
【注意事項】
記号の意味
○：使用可、適合 △：確認が必要 ×：使用不可
※耐薬品データの判定基準は一定の条件下で作成しています。従って、貴社使用条件、環境、期間によっては判定基準が○であっても適さない場合があります。
※ご使用の際は必ず貴社での実際の使用条件下でのご確認をお願いいたします
※表中「樹脂」
ETFE系：E-SJシリーズの内層
TPO：E-KYシリーズの内層
PVC：塩ビシリーズ
製品比較表
| 型番 | 内層材 | 流体 | |||||
| アセトン | トルエン | 酢酸エチル | キシレン | MEK | ヘキサン | ||
| E-TB | 軟質PVC | × | × | × | × | × | × |
| E-STB | 軟質PVC | × | × | × | × | × | × |
| E-SP | 軟質PVC | × | × | × | × | × | × |
| E-SF | 軟質PVC | × | × | × | × | × | × |
| E-KYS | オレフィン | ○ | △ | △ | △ | △ | △ |
| E-KYT | オレフィン | ○ | △ | △ | △ | △ | △ |
| E-KYC | オレフィン | ○ | △ | △ | △ | △ | △ |
| E-OHB | オレフィン | ○ | △ | △ | △ | △ | △ |
| E-PD | 2フッ化フッ素 | × | ○ | × | ○ | × | ○ |
| E-PDB | 2フッ化フッ素 | × | ○ | × | ○ | × | ○ |
| E-PDB-F | 2フッ化フッ素 | × | ○ | × | ○ | × | ○ |
| E-SJ | 4フッ化フッ素 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
| E-SJUS | 4フッ化フッ素 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
| E-SJV | 4フッ化フッ素 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
| E-SJECO | 4フッ化フッ素 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
| E-SJAST | 4フッ化フッ素 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
| E-SJD | 4フッ化フッ素 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
| E-SJ-CBU | 4フッ化フッ素 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
| E-SJ-BK | 4フッ化フッ素 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
| E-SJUS-BK | 4フッ化フッ素 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
| E-SJB | 4フッ化フッ素 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
| E-SJBUS | 4フッ化フッ素 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
| E-SJB-F | 4フッ化フッ素 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
| E-SJSP | 4フッ化フッ素 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
| E-SJSPUS | 4フッ化フッ素 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
| E-SJSP-F | 4フッ化フッ素 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
| E-SJSD | 4フッ化フッ素 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
| E-SV | ポリアミド | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
| E-PFF | 4フッ化フッ素 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
| E-PFFG | 4フッ化フッ素 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
| E-PFN | ポリアミド | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
【注意事項】
記号の意味
○：使用可、適合 △：確認が必要 ×：使用不可
※耐薬品データの判定基準は一定の条件下で作成しています。従って、貴社使用条件、環境、期間によっては判定基準が○であっても適さない場合があります。
※ご使用の際は必ず貴社での実際の使用条件下でのご確認をお願いいたします
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