半導体・精密機器

半導体・精密機械向け耐薬品ホース

フッ素樹脂の優れた低溶出性、耐薬品性と柔軟性、透明性を実現したホース
半導体・精密機械製造の工程では、洗浄液などの薬品搬送に樹脂ホースを使用します。
八興の柔軟フッ素ホースシリーズなら、耐薬品性と柔軟性があるため、薬品配管の省スペース化が可能です。
データセンター向け、検査装置、切削装置等、半導体関連用途に最適なホースをご案内いたします。

採用事例

用途
①研磨工程
シリコンウェハの表面を磨く工程。研磨時にスラリー上の薬品を塗布する際、フッ素チューブ（テフロンチューブ）を使用する。

②レジスト塗布（エッチング工程）
ウェハへの回路パターンを作成時、特殊な感光材を薄く塗る。
レジスト塗布前処理の酸化膜を除去する際、フッ素チューブ（テフロンチューブ）を使用する。※エッチング

③洗浄工程
ウェハ表面への付着物（ごみ、金属イオン等）の除去に、高純度の酸やアルカリ系の薬品、純水を使用する。これらの搬送用にフッ素チューブ（テフロンチューブ）を使用する。

問題点：テフロンチューブは硬くて配管設置に時間がかかる
従来のテフロンチューブは、硬くて折れやすいため、何本もチューブを束ねて装置の中を配管する時に、装置の中にある程度のスペースを必要としていた。

八興からの提案・解決策
スーパー柔軟フッ素ホース（チューブタイプ）【E-SJ】は内層：４フッ化フッ素樹脂、外層：ウレタン系エラストマーでできているため、優れた耐薬品性と柔軟性があり、配管の省スペース化が可能である。
接続も専用継手で簡単に取り付けができ、装置の組立時間が大幅に短縮できたと喜んで頂いた。

【柔軟性比較試験】・試験方法：チューブ端部に錘50gを加え1分後のたわみ量を測定する（試料は直管になるように事前にアニール加工を行う）　試料：①柔軟フッ素チューブ（E-PD-4×6）②スーパー柔軟フッ素チューブ（E-SJ-4×6）③市販PTFEチューブ（4×6）④市販PFAチューブ（4×6）　結果：八興の柔軟フッ素チューブシリーズは、市販PTFEチューブ・PFAチューブよりも柔軟性に優れていることを確認しました。

スーパー柔軟フッ素チューブ（E-SJ）は、内層フッ素樹脂（ETFE系）のため、薬品・有機溶剤（メチルエチルケトンMEK、メチルピロリドン、アセトン、キシレン等）にも使用可能です。外層はウレタン樹脂のため柔軟性・機械的強度に優れています。また、半導体分野ではウエハー研磨中の洗浄時、超純水・純粋の搬送用に多く使用されています。

E-SJ

耐溶剤性

非塩ビ

非粘着性

耐薬品性

低溶出性

低臭気性

食衛適合

柔軟性

内径サイズ： φ6～8mm

半導体・精密機器製造の皆さまへ

八興の柔軟フッ素ホースシリーズは、2フッ化系フッ素と4フッ化系フッ素の2種類があります。
ほとんどの耐薬品に耐性がある4フッ化（ETFE）系フッ素樹脂と、ガスバリアー性に優れる2フッ化（PVDF）系フッ素樹脂のホースがあるため、用途、流体によって使い分けてください。

製品比較表

型番	内層材	ホースサイズ	流体
型番	内層材	ホースサイズ	アセトン	トルエン	酢酸エチル	キシレン	MEK	ヘキサン
E-TB	軟質PVC	φ4～75	×	×	×	×	×	×
E-STB	軟質PVC	φ6～50	×	×	×	×	×	×
E-SP	軟質PVC	φ8～50	×	×	×	×	×	×
E-SF	軟質PVC	φ6～50	×	×	×	×	×	×
E-KYS	オレフィン	φ6～50	○	△	△	△	△	△
E-KYT	オレフィン	φ2～8	○	△	△	△	△	△
E-KYC	オレフィン	φ12～19	○	△	△	△	△	△
E-OHB	オレフィン	φ25～50	○	△	△	△	△	△
E-PD	2フッ化フッ素	φ2～8	×	○	×	○	×	○
E-PDB	2フッ化フッ素	φ9～50	×	○	×	○	×	○
E-PDB-F	2フッ化フッ素	φ19～38	×	○	×	○	×	○
E-SJ	4フッ化フッ素	φ2～8	○	○	○	○	○	○
E-SJ-CBU	4フッ化フッ素	φ2～8	○	○	○	○	○	○
E-SJ-BK	4フッ化フッ素	φ3～8	○	○	○	○	○	○
E-SJB	4フッ化フッ素	φ9～38	○	○	○	○	○	○
E-SJB-F	4フッ化フッ素	φ19～38	○	○	○	○	○	○
E-SJSP	4フッ化フッ素	φ12～38	○	○	○	○	○	○
E-SJSP-F	4フッ化フッ素	φ19～38	○	○	○	○	○	○
E-SV	ポリアミド	φ7.5～9.5	○	○	○	○	○	○
E-PFF	4フッ化フッ素	φ6.5	○	○	○	○	○	○
E-PFN	ポリアミド	φ6.5〜8.9	○	○	○	○	○	○