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半導体・精密機械向け耐薬品ホース

フッ素樹脂の優れた低溶出性、耐薬品性と柔軟性、透明性を実現したホース
半導体・精密機械製造の工程では、洗浄液などの薬品搬送に樹脂ホースを使用します。
八興の柔軟フッ素ホースシリーズなら、耐薬品性と柔軟性があるため、薬品配管の省スペース化が可能です。
データセンター向け、検査装置、切削装置等、半導体関連用途に最適なホースをご案内いたします。

採用事例

用途
①研磨工程
シリコンウェハの表面を磨く工程。研磨時にスラリー上の薬品を塗布する際、フッ素チューブ(テフロンチューブ)を使用する。

②レジスト塗布(エッチング工程)
ウェハへの回路パターンを作成時、特殊な感光材を薄く塗る。
レジスト塗布前処理の酸化膜を除去する際、フッ素チューブ(テフロンチューブ)を使用する。※エッチング

③洗浄工程
ウェハ表面への付着物(ごみ、金属イオン等)の除去に、高純度の酸やアルカリ系の薬品、純水を使用する。これらの搬送用にフッ素チューブ(テフロンチューブ)を使用する。

問題点:テフロンチューブは硬くて配管設置に時間がかかる
従来のテフロンチューブは、硬くて折れやすいため、何本もチューブを束ねて装置の中を配管する時に、装置の中にある程度のスペースを必要としていた。

八興からの提案・解決策

スーパー柔軟フッ素ホース(チューブタイプ)【E-SJ】は内層:4フッ化フッ素樹脂、外層:ウレタン系エラストマーでできているため、優れた耐薬品性と柔軟性があり、配管の省スペース化が可能である。
接続も専用継手で簡単に取り付けができ、装置の組立時間が大幅に短縮できたと喜んで頂いた。

【柔軟性比較試験】・試験方法:チューブ端部に錘50gを加え1分後のたわみ量を測定する(試料は直管になるように事前にアニール加工を行う) 試料:①柔軟フッ素チューブ(E-PD-4×6)②スーパー柔軟フッ素チューブ(E-SJ-4×6)③市販PTFEチューブ(4×6)④市販PFAチューブ(4×6) 結果:八興の柔軟フッ素チューブシリーズは、市販PTFEチューブ・PFAチューブよりも柔軟性に優れていることを確認しました。

スーパー柔軟フッ素チューブ(E-SJ)は、内層フッ素樹脂(ETFE系)のため、薬品・有機溶剤(メチルエチルケトンMEK、メチルピロリドン、アセトン、キシレン等)にも使用可能です。外層はウレタン樹脂のため柔軟性・機械的強度に優れています。また、半導体分野ではウエハー研磨中の洗浄時、超純水・純粋の搬送用に多く使用されています。

E-SJ

耐溶剤性
非塩ビ
非粘着性
耐薬品性
低溶出性
低臭気性
食衛適合
柔軟性

内径サイズ: φ6~8mm

 

半導体・精密機器製造の皆さまへ

八興の柔軟フッ素ホースシリーズは、2フッ化系フッ素と4フッ化系フッ素の2種類があります。
ほとんどの耐薬品に耐性がある4フッ化(ETFE)系フッ素樹脂と、ガスバリアー性に優れる2フッ化(PVDF)系フッ素樹脂のホースがあるため、用途、流体によって使い分けてください。

製品比較表

型番 内層材 ホースサイズ 流体
アセトン トルエン 酢酸エチル キシレン MEK ヘキサン
E-TB 軟質PVC φ4~75 × × × × × ×
E-STB 軟質PVC φ6~50 × × × × × ×
E-SP 軟質PVC φ8~50 × × × × × ×
E-SF 軟質PVC φ6~50 × × × × × ×
E-KYS オレフィン φ6~50
E-KYT オレフィン φ2~8
E-KYC オレフィン φ12~19
E-OHB オレフィン φ25~50
E-PD 2フッ化フッ素 φ2~8 × × ×
E-PDB 2フッ化フッ素 φ9~50 × × ×
E-PDB-F 2フッ化フッ素 φ19~38 × × ×
E-SJ 4フッ化フッ素 φ2~8
E-SJ-CBU 4フッ化フッ素 φ2~8
E-SJ-BK 4フッ化フッ素 φ3~8
E-SJB 4フッ化フッ素 φ9~38
E-SJB-F 4フッ化フッ素 φ19~38
E-SJSP 4フッ化フッ素 φ12~38
E-SJSP-F 4フッ化フッ素 φ19~38
E-SV ポリアミド φ7.5~9.5
E-PFF 4フッ化フッ素 φ6.5
E-PFN ポリアミド φ6.5〜8.9

【注意事項】
記号の意味
○:使用可、適合 △:確認が必要 ×:使用不可
※耐薬品データの判定基準は一定の条件下で作成しています。従って、貴社使用条件、環境、期間によっては判定基準が○であっても適さない場合があります。
※ご使用の際は必ず貴社での実際の使用条件下でのご確認をお願いいたします

対象製品

●柔軟フッ素ホースシリーズ フェルール継手加締品 電解研磨仕上げ

image-Ferrule-Fitting-EP01

Ferrule-Fitting-EP

耐溶剤性
非粘着性
耐薬品性
低溶出性
低臭気性
食衛適合
サニタリー接続
洗浄性
バンドレス継手

内径サイズ: φ19~38mm

●柔軟フッ素ホースシリーズ フェルール継手加締品 PFAライニング

image-E-PDB-PFA / E-SJB-PFA / E-SJSP-PFA01

E-PDB-PFA / E-SJB-PFA / E-SJSP-PFA

非塩ビ
非粘着性
耐薬品性
低溶出性
低臭気性
食衛適合
サニタリー接続
洗浄性

内径サイズ: φ19~38mm

●エイトロックフェルール・PFAライニング E-ELF-PFA

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E-ELF-PFA

サニタリー接続
洗浄性
SCS16

内径サイズ: φ19~32mm

●スーパー柔軟フッ素ホース(補強糸入りタイプ) E-SJB

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E-SJB

耐溶剤性
非塩ビ
非粘着性
耐薬品性
低溶出性
低臭気性
食衛適合
耐圧性
透明性
耐油性
耐寒性
耐アルコール

内径サイズ: φ9~38mm

●導電スーパー柔軟フッ素スプリング E-SJSD

image-E-SJSD01

E-SJSD

導電性
耐溶剤性
非塩ビ
非粘着性
耐薬品性
低臭気性
食衛適合
UVカット
バキューム
耐油性
折れにくい
耐アルコール

内径サイズ: φ12~25mm

●導電スーパー柔軟フッ素チューブ E-SJD

image-E-SJD01

E-SJD

導電性
耐溶剤性
非塩ビ
非粘着性
耐薬品性
低臭気性
食衛適合
UVカット
耐油性
折れにくい
耐アルコール

内径サイズ: φ6~8mm

●スーパー柔軟フッ素チューブ(透明) E-SJ

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E-SJ

耐溶剤性
非塩ビ
非粘着性
耐薬品性
低溶出性
低臭気性
食衛適合
柔軟性
透明性
耐油性
耐寒性
耐アルコール

内径サイズ: φ2~8mm

●スーパー柔軟フッ素ソフトチューブ E-SJV

image-E-SJV01

E-SJV

耐溶剤性
非粘着性
耐薬品性
低溶出性
低臭気性
食衛適合
柔軟性
透明性
耐油性
耐寒性
耐アルコール

内径サイズ: φ6~8mm

●スーパー柔軟フッ素チューブ・クリアブルー E-SJ-CBU

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E-SJ-CBU

耐溶剤性
非塩ビ
非粘着性
耐薬品性
低溶出性
低臭気性
食衛適合
柔軟性
耐油性
耐寒性
耐アルコール

内径サイズ: φ2~8mm

●スーパー柔軟フッ素ホース(補強糸入りタイプ) E-SJB

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E-SJB

耐溶剤性
非塩ビ
非粘着性
耐薬品性
低溶出性
低臭気性
食衛適合
耐圧性
透明性
耐油性
耐寒性
耐アルコール

内径サイズ: φ9~38mm

●スーパー柔軟フッ素スプリング E-SJSP

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E-SJSP

耐溶剤性
非塩ビ
非粘着性
耐薬品性
低溶出性
低臭気性
食衛適合
バキューム
透明性
耐油性
折れにくい
耐寒性
耐アルコール

内径サイズ: φ12~38mm

●柔軟フッ素ホース(チューブタイプ) E-PD

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E-PD

非塩ビ
非粘着性
耐薬品性
低溶出性
食衛適合
柔軟性
ガスバリヤー性
透明性
耐油性
耐寒性
耐アルコール

内径サイズ: φ2~8mm

●柔軟フッ素ホース(補強糸入りタイプ) E-PDB

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E-PDB

非塩ビ
非粘着性
耐薬品性
低溶出性
食衛適合
耐圧性
ガスバリヤー性
透明性
耐油性
耐寒性
耐アルコール

内径サイズ: φ9~50mm

●KYチューブ E-KYT

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E-KYT

非塩ビ
耐薬品性
低溶出性
低臭気性
食衛適合
柔軟性
耐アルコール

内径サイズ: φ2~8mm

●KYサンフーズ E-KYS

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E-KYS

非塩ビ
耐薬品性
低溶出性
低臭気性
食衛適合
耐圧性
酒類・醸造
耐アルコール

内径サイズ: φ6~50mm

オーダーメイド製品のご案内

上記以外でも、ご要望に沿ったオーダーメイド製品を製作可能です。下記問合せフォームより、お気軽にお問い合わせください。

 
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